• 由客戶選擇的多種檢測模式（高靈敏度、高檢測速度和標准生産檢測模式）幫助客戶優化設備性能和降低設備使用成本

• 非接觸性“檢測樣品”支撐方式避免檢測樣品的任何損壞

• 集成一體的高分辨率自動聚焦顯微鏡提供用戶缺陷複核和缺陷分類能力，以及高分辨率缺陷圖像

• CIM軟件同所有生産廠家生産控制系統相兼容

• 選擇性功能提供用戶更多運用
    ADC (Auto-Defect Classification)
    DM (Digital Macro-Image)
    CD Overlay
    Periphery inspection
    YES (Yield Enhancement Software)

• 設備的小“占地面積小”幫助用戶節約超淨室（Clean-Room）空間